在外延生長領域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導體晶圓的作用。目前，主流外延設備廠商配套的石墨盤在結構上基本相同，均采用在石墨盤基座上設計一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。這種設計在生長小尺寸的晶圓(比如說4寸半導體晶圓)來說是合理的，維護起來也很方便。但對于生長大尺寸的外延片，基于降低晶圓被旋轉的石墨盤甩出的風險，晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小尺寸石墨盤大一些。